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航空材料5nm膜厚台阶测量

发布时间:2022-12-26 16:09:23     浏览次数:1398



行业背景:


航空材料是研制生产航空产品的物质保障,也是使航空产品达到人们期望的性能、使用寿命与可靠性的技术基础。由于航空材料的基础地位,以及其对航空产品贡献率的不断提高,航空材料与航空发动机、信息技术成为并列的三大航空关键技术之一,也是对航空产品发展有重要影响的六项技术之一。

根据材料的组成与结构的特点,航空材料包括金属材料、有机高分子材料(聚合物)、无机非金属材料和复合材料四大类。


案例内容:


2022年,接到了来自某国家级实验室教授的咨询,希望可以测量5nm的膜厚台阶测量。

目前客户使用设备两大痛点:

①效率: 已使用的AFM测量时间过长;

②精度:某品牌的白光干涉仪在低于20nm的台阶无法测量。

 

针对低于20nm的台阶,并且膜较为透明。

必须选用更高精度的扫描器件和提高采集敏感度。


最终板石智能提供的AM系列NA-500型号白光干涉仪,完美契合教授的台阶测试工作。


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